阿斯麥在官網(wǎng)上表示，上周一的火災(zāi)，發(fā)生在柏林工廠的一棟建筑中，火災(zāi)中的煙霧，部分影響到了相鄰的建筑，受影響建筑的部分生產(chǎn)已能恢復(fù)，其他未受影響的建筑，已全面運營...火災(zāi)影響的損壞評估仍在進行中，但阿斯麥方面表示，從目前的情況來看，他們計量和檢測產(chǎn)品的產(chǎn)出計劃將不會受到影響，因為沒有相關(guān)的部件在柏林工廠生產(chǎn)...雖然火災(zāi)未影響到計量和檢測產(chǎn)品部件的生產(chǎn)，但阿斯麥位于柏林的工廠，生產(chǎn)DUV和EUV光刻機的部分部件，這兩類光刻機部分部件的生產(chǎn)，在火災(zāi)中都受到了影響...柏林工廠受火災(zāi)影響仍未恢復(fù)的，是EUV光刻機一個零部件的生產(chǎn)區(qū)域，恢復(fù)計劃仍在進行中，他們已決定采取相關(guān)的措施，將對EUV光刻機客戶、產(chǎn)出計劃及服務(wù)的潛在影響降到最低......

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