東方晶源多年來深耕電子束檢測領域，其電子束缺陷檢測設備EBI與關鍵尺寸量測設備CD-SEM先后實現(xiàn)國產(chǎn)替代零的突破，并獲市場認可。2023年初，東方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道電子成像技術與新型設備平臺，在客戶端完成量產(chǎn)驗證，為后續(xù)開發(fā)奠定了基礎。r655的推出，標志著國產(chǎn)電子束檢測設備在精度、效率與智能化領域邁入新階段，為我國半導體先進制程發(fā)展注入強勁動能。...

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