目前的硅基半導(dǎo)體芯片在進(jìn)入10nm之后越來越難以生產(chǎn),預(yù)計(jì)2nm到1nm節(jié)點(diǎn)就有可能面臨無法繼續(xù)的問題,半導(dǎo)體行業(yè)也在積極開發(fā)新技術(shù),比如硅光子芯片技術(shù),而ASML公司所在的荷蘭就大舉投資77億元研發(fā)硅光子技術(shù)。
在硅基芯片時(shí)代,ASML公司最終成為半導(dǎo)體行業(yè)中的王者,尤其是EUV光刻機(jī)獨(dú)一份,5nm及以下節(jié)點(diǎn)都要依賴ASML的EUV光刻機(jī),現(xiàn)在售價(jià)就要10億一臺了,再下一代的高NA光刻機(jī)售價(jià)要漲到19億以上了。
如果未來硅光子芯片快速取代硅基芯片,那ASML公司顯然會失去領(lǐng)先的地位,這也是為什么荷蘭巨資投資硅光子技術(shù)引人注意的關(guān)鍵,希望下一個(gè)ASML還是掌握在他們手里。
根據(jù)他們的投資計(jì)劃,總投資為11億歐元,約合77.3億人民幣,其中4.71億歐元的投資來自荷蘭政府,接下來是荷蘭的兩所大學(xué)Eindhoven理工大及Twente大學(xué),資金則會由荷蘭基金機(jī)構(gòu)Delta Photon 負(fù)責(zé)管理。
據(jù)悉,跟現(xiàn)在的硅基芯片相比,硅光子芯片是基于硅和硅基襯底材料(如 SiGe/Si、SOI 等),利用現(xiàn)有 CMOS 工藝進(jìn)行光器件開發(fā)和集成的新一代技術(shù),結(jié)合了集成電路技術(shù)的超大規(guī)模、超高精度制造的特性和光子技術(shù)超高速率、超低功耗的優(yōu)勢,被認(rèn)為是摩爾定律失效之后的顛覆性技術(shù)。
目前主要的半導(dǎo)體大國都在積極研發(fā)硅光子技術(shù),其中Intel、IBM等公司在這個(gè)領(lǐng)域已經(jīng)取得重要進(jìn)展,國內(nèi)也在大力發(fā)展硅光子技術(shù)。
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